SVCS Process Innovation
  • O SVCS
  • R&D
    • Vysokoteplotní zařízení pro aktivaci příměsí v polovodičových SiC substrátech
    • ALD Reaktor
    • ICP Reaktor
  • Řídící systém
  • Plynové systémy
  • Trubní rozvody
  • Kalibrace
  • Reference
  • Kontakt
  • O SVCS
  • R&D
    • Vysokoteplotní zařízení pro aktivaci příměsí v polovodičových SiC substrátech
    • ALD Reaktor
    • ICP Reaktor
  • Řídící systém
  • Plynové systémy
  • Trubní rozvody
  • Kalibrace
  • Reference
  • Kontakt
SVCS Process Innovation SVCS Process Innovation
  • English
  • Русский
  • Czech
  • O SVCS
  • R&D
    • Vysokoteplotní zařízení pro aktivaci příměsí v polovodičových SiC substrátech
    • ALD Reaktor
    • ICP Reaktor
  • Řídící systém
  • Plynové systémy
  • Trubní rozvody
  • Kalibrace
  • Reference
  • Kontakt

R&D

  • Vysokoteplotní zařízení pro aktivaci příměsí v polovodičových SiC substrátech

    Výzkum a vývoj SiC VTR reaktoru s podporou TAČR – projekt FW10010021 v rámci programu TREND (01/2024 až 12/2025)   Cílem projektu...pokračovat

    Číst více
  • Česko-Japonský R&D project: ALD reaktor pro Minimal Fab

    SVCS Process Innovation and HORIBA STEC will cooperate in the development of Minimal Fab design of the Plasma Enhanced Atomic...pokračovat

    Číst více
  • Plazmou aktivovaný ALD systém s unikátním zdrojem plazmy nízké teploty

    SVCS Process Innovation and ISAC research teams will design together a plasma based ALD and ALEt equipment. The research will start with the standard ALD reactor design produced by ISAC, and plasma generation systems, gas and precursor distribution and controlling skills will be provided by SVCS.

    Číst více
  • Vysokoteplotní MOCVD reaktor pro tenkovrstvé pokrývání oxidu kovu a nitridu kovu na substráty do 150mm

    Within national R&D project we developed (with the technical support of University of Technology and CEITEC) this unique reactor including...pokračovat

    Číst více
EU Banner MPO Banner

  • This field is for validation purposes and should be left unchanged.
© SVCS 2025