Distribuční systémy

pro vysoce čisté plyny

SVCS využívá výhody dlouholetých zkušeností s výrobou plynových panelů a plynových systémů šitých na míru nejen pro polovodičový průmysl, ale i pro nejrůznější R&D aplikace. Design rodiny Plynových systémů SVCS vyniká vysokou kvalitou zpracování, výběrem komponentů od předních lídrů v oboru a plně automatickým řízením s nezávislými bezpečnostními funkcemi.

pokračovat

AGC Automatické plynové kabinety

Otevřené, nástěnné systémy (pro inertní plyny)
1-lahvový kabinet s čistícím plynem z externího zdroje
2-lahvový kabinet
- 2 lahve procesního plynu, s čistícím plynem z externího zdroje s autom. přepínáním
- 1 lahev procesního plynu, 1 čistícího plynu
3-lahvový kabinet (2 × procesní plyn + 1 × čistící) s autom. přepínáním

VMB Ventilové rozdělovací skříně

2 typické modifikace: 2-4 a 5-8 nezávislých výstupů
Široké spektrum automatizace: od manuálního ovládání po plně automatické
Volitelné připojení do integrované řídící aplikace SVCS Super Visor
Detekce úniku procesního plynu
Detekce hazardních plynů a ventilace prostoru plynového panelu

Plynové panely

Orbitálně svařované, vyrobené a sestavené v čisté místnosti 10/100
100 % test úniku Helia a funkční test všech jednotlivých komponent před/po svařování a sestavení panelu
Trubky, fitinky, ventily, regulátory tlaku, filtry, průtoková zařízení a MFC s kovovými čelními nebo tupými sváry
Povrchová drsnost Ra max. 10 µpalce nebo lepší
Velmi nízký vnitřní objem díky použíti speciálních mini svařovacích hlav
Kompaktní vnitřní vakuový generátor pro čistící cykly

Výhody

Plně automatická kontrola s dotykovým displejem
Automatické cyklické čištění
Monitorování tlaku a váhy lahve
Převodník tlaku pro monitorování výstupního tlaku
Přepínač nadměrného průtoku
Programovatelný limit tlaku a váhy lahve pro automatickou výměnu
Externí digitální vstupy a výstupy
Víceúrovňová ochrana heslem pro různé operační módy
Ethernet LAN

Volitelné

Zakázkové panely dle přání zákazníka
Proplachovací potrubí pigtailu, tzv. “deep-purge”
Monitorování přítomnosti nebezpečných plynů
Monitorování tlaku ve vnějším kontejnmentu koaxiálních trubek
Dodatečné částicové filtrování a čištění procesního a čistícího plynu
Analytické testovací služby a certifikace pro částice, vlhkost, kyslík a celkové uhlovodíky