Панель для распределения жидких реагентов и температурный контроль прекурсоров

точный и стабильный контроль температуры

Многие современные химические реагенты для полупроводниковой промышленности и фотовольтаики доступны только в жидком состоянии. Поэтому нами были разработаны подходящие системы для использования в технологических процессах. Один из способов доставки химикатов основан на захвате паров реагента потоком газа, проходящим через слой жидкости.

Читать польностю

Схема

Обратитесь к нашему региональному представителю для дальнейшей информации

Показать центральные офисы