Установки PECVD

для высокой эффективности процессов

Конструкция установок SVCS для плазмоактивированного осаждения при пониженном давлении сочетает возможность проведения различных процессов с обеспечением высокой производительности для серийного производства (SVpFUR-FP) и высокую гибкость компактных моделей для использования в исследовательских работах и опытном производстве (SVpFUR-RD). Результатом является безопасная, простая в обслуживании и надежная горизонтальная PECVD платформа.

Конструкция установок SVCS обеспечивает высокую эффективность, малое занимаемое пространство и низкую эксплуатационную стоимость при высокой гибкости технологических процессов.

подробнее

Процессы PECVD

Нитрид кремния (включая антиотражающие покрытия для солнечных элементов)
Оксид кремния
Оксинитрид кремния

Особенности

Современная модульная специализированная система управления собственного производства
Использование высококачественных компонентов обеспечивает длительную и бесперебойную работу технологического оборудования
До четырех горизонтальных кварцевых реакторов для различных процессов
Различные методы контроля уровня вакуума, с нагревом или без нагрева:
- Дисковый вентиль (TBV)
- Балластный азот
- Частотное управление вакуумным насосом
Интеграция вакуумной откачной системы в сотрудничестве с ведущими производителями вакуумных насосов
Продвинутая система водяного охлаждения для минимизации теплового воздействия между соседними реакторами
Интеграция ВЧ генераторов в сотрудничестве с мировыми производителями (по запросу)
Фланцы с водяным охлаждением собственной разработки
ВЧ генераторы собственной разработки и производства
Графитовые лодочки собственной разработки
Полностью автоматическая бесконтактная система загрузки консольного типа
Удобная в обслуживании конструкция

Технические характеристики

Размер пластин	150 мм, 200 мм или другие по запросу
Размер партии	FP: до 120 шт. RD: 25 шт. (стандартно)
Система нагрева	3 или 5 зон
Рабочая зона	FP: до 1067 мм (42″) RD: от 300 мм (12″) Равномерность нагрева: ± 0.5°C по зоне
Рабочая температура	от 200°C до 800°C
Потребляемая мощность	80 кВт – 150 кВт в зависимости от конфигурации
Источник питания	150 мм: 3 фазы, 400 или 480 VAC, 140 A, 50 или 60 Гц 200 мм: 3 фазы, 400 или 480VAC, 160A, 60 Гц (система адаптирована к сети питания заказчика)
Сухой сжатый воздух	70 – 110 psig (от 4,8 до 7,6 бар)
Оборотная вода	40 — 60 л/мин
Вытяжная вентиляция	210 м³/ч на канал
Опции	Подъемник лодочек и автоматический переукладчик пластин

Схема

Загрузить

Установки PECVD для высокой эффективности процессов (pdf) для печати / для просмотра

Обратитесь к нашему региональному представителю

Показать центральные офисы

Poland
Poland
«PVG Spółka z Ograniczoną Odpowiedzialnością» Sp.K.
ul. Santocka 39, 71-083 Szczecin
Tel. +48 539 944 449
Fax +48 918 310 988
Email:
Hong Kong
Hong Kong
Great Domain
Enterprise Co., Ltd.
15-1F, No.37, Sec. 2, Sanmin Rd.,
Banqiao Dist., New Taipei City, Taiwan
Tel.: 0912-730-586
Fax: 0289538399
Email:
Vietnam
Vietnam
AMST., CO. Ltd.
Mr. Le Quoc Trong
48A, Alley 21 Phan Dinh Giot Str.
Thanh Xuan Dist., Hanoi
Vietnam
Tel/Fax +84 4 62852094
Mob: +84 947180189
Australia
Australia
UHP Australia Ply Ltd.
Unit 4, 20 Velediclion Road, Kings
Park NSW 2148, AUSTRALIA
Tel.: +61 (0)2 9676 6769
Mob.: +61 (0) 3904 3893
Email:
Japan
Japan
VYTEK Ltd.
Mr. Vladimir Kovacik
Wisteria Komae bldg.3F
1-2-8 Izumi Honcho, Komae, Tokyo, 201-0003 Japan
Tel.:+81-3-3480-9082
Fax:+81-3-3480-9083
Email:
http://www.vytek.co.jp/
Korea
Korea
Sang-Hoon, Lee (Mr. Edward Lee)
Managing Director of SH Korea
#310-213, Ansan Distribution Complex
994-6, Wongok-dong, Danwon-gu,
Ansan-si, Gyeonggi-do, Korea.
zip code 15431
Fax: +82.31.8084.4744
web-site: www.shkorea.kr
Mobile: 82-10-4307-8412
Email:
Taiwan
Taiwan
Sung Yuan Biotechnology Co., Ltd.
Mr. Thomas Liu
Sales Director
No.818, Wen-San Road, Up-Mountain village
Chung-Lin Hsiang, Hsin-Chu County 307,
Taiwan R.O.C
Tel: +886-3-5122.096 ext 101
Fax: +886-3-5925.308
Mobile: +886-938-365.326
Email:
Email:
China
China
PELAS
Mr. Tony Wang
Shanghai PelaStar Materials Technology Co., Ltd
Room. 1102, Suncome Liauw’s Plaza, No. 738, Shangcheng Rd.Shanghai, 200120, China
Tel.: 86-21-51981110
Fax.: 86-21-51981109
Mobile: 13816658585
Email:
Malaysia
Malaysia
SERMAX Engineering Pte Ltd (201025665Z)
11 Mandai Estate, #08-01 Eldix, Singapore 729908
Phone : +65-6710 7710
Fax : +65-6710 7710
Email:
India
India

H. Fillunger & Co.Pvt.Ltd.
Mumbai-Pune Road,
Opp: Empire Estate
Pimpri, Pune 411 018 (India)
Phone No.: +91-20-27468617/18, +91-9763718051
Fax No.: +91-20-27468615
Email:
http://www.fillunger.com/

H. Fillunger & Co.Pvt.Ltd.
16, B.E.S.T. Marg, Opp. Electric House, Colaba,
Mumbai 400 039
Phone No.: +91-22-22024157 / 22856372
Fax. No.: +91-22-22856371
Email:
Contact Person
Mr. T. Chakravarty, Branch Manager

H. Fillunger & Co.Pvt.Ltd.
205, 2nd Floor, Shivlok House II,
Karampura Commercial Complex,
New Delhi 110 015
Tel. No.: +91-11-42488019 / 25415789
Fax No.: +91-11-42488018
Email:
Contact Person
Mr. Sunil Notaney, Asst. Sales Manager

H. Fillunger & Co.Pvt.Ltd.
Post Box No. 339,
115/2, 11th Cross, 3rd Main Road, Malleswaram,
Bangalore 560 003
Tel No.: +91-80-2334 5889 / 2344 1963
Fax No.: +91-80-2334 6211
Email:
Email:
Contact Person
Mr. B.S. Rao, Branch Manager
Russia
Russia
ООО «СВЦС»
Игорь Владимирович Березенко
Директор
124527 Москва, Зеленоград,
Солнечная аллея, д.6, офис 223
Россия
Тел.: +7 495 790 63 31
Email:
https://www.svcs.com
Turkey
Turkey
TESTONE TEKNOLOJI COZUMLERI SAN. VE TIC LTD. STI.
Gürsel Mah. İkbal Sok TestOne Binası No :7
Kağıthane-İstanbul
Tel: 0212 251 24 25
Fax: 0212 222 90 90
Email:
USA
USA
SVCS CO.
1819 Main Street
Sarasota • Florida 34236 • USA
www.svcs.com
Email: