Горизонтальные диффузионно-окислительные печи

для высокой эффективности процессов

Конструкция атмосферных диффузионно-окислительных печей SVCS сочетает возможность проведения различных процессов с обеспечением высокой производительности для серийного производства (SVaFUR-FP) и высокую гибкость компактных моделей для использования в исследовательских работах и опытном производстве (SVaFUR-RD). Результатом является безопасная, простая в обслуживании и надежная горизонтальная диффузионно-окислительная платформа.

Конструкция установок SVCS обеспечивает высокую эффективность, малое занимаемое пространство и низкую эксплуатационную стоимость при высокой гибкости технологических процессов.

Читать польностю

Атмосферные процессы

  • Высокотемпературные процессы диффузии или разгонки
  • Легирование из твердых, жидких и газообразных источников примеси, напр.: BBr3, B2H6, POCL3, PH3, BN
  • Различные термические процессы: отжиг, термостабилизация, спекание
  • Пирогенное окисление с использованием системы внешнего горения
  • Влажное окисление с использованием парогенератора
  • Сухое окисление
  • HiPOx (окисление при повышенном давлении)
  • DCE или HCl для всех процессов (опционально)

Особенности и преимущества

  • Современная модульная специализированная система управления собственного производства
  • Использование высококачественных компонентов обеспечивает длительную и бесперебойную работу технологического оборудования
  • До четырех горизонтальных кварцевых или карбидкремниевых реакторов для различных процессов
  • Продвинутая система водяного охлаждения для минимизации теплового воздействия между соседними реакторами
  • Полностью автоматическая бесконтактная система загрузки консольного типа
  • Удобная в обслуживании конструкция

 

Техническая информация

Размер пластин 150 мм, 200 мм или другие по запросу
Размер партии
FP: 150 шт.
RD: 25 шт. (стандартно)
Система нагрева  3 или 5 зон
Рабочая зона FP: до 1067 мм (42″)
RD: от 300 мм (12″)
Равномерность нагрева: ± 0.5°C по зоне
Рабочая температура от 200°C до 1300°C
Потребляемая мощность 95 кВт – 165 кВт в зависимости от конфигурации
Источник питания 150 мм: 3 фазы, 400 или 480 VAC, 140 A, 50 или 60 Гц
200 мм: 3 фазы, 400 или 480VAC, 160A, 60 Гц
(система адаптирована к сети питания заказчика)
Сухой сжатый воздух 70 – 110 psig (от 4,8 до 7,6 бар)
Оборотная вода 40 — 60 л/мин
Вытяжная вентиляция 210 м³/ч на канал
Опции Подъемник лодочек и автоматический переукладчик пластин

 

Обратитесь к нашему региональному представителю для дальнейшей информации

Показать центральные офисы