Газовые системы сверхвысокой (UHP) чистоты

SVCS использует свой многолетний опыт разработки и производства заказных газовых панелей и газовых систем для различных отраслей полупроводниковой промышленности, а также для применения в различных R&D проектах. Линейка газовых систем SV DELI предлагает высокий уровень технического дизайна, компоненты от мировых лидеров и полностью автоматизированная система управления с независимыми функциями безопасности.

Читать польностю

SV Deli

Газовые системы сверхвысокой (UHP) чистоты включают в себя:

  • Газобаллонные шкафы для одного, двух или трех баллонов
  • Газораспределительные шкафы (VMB) для питания нескольких потребителей
  • Газовые системы для источников большого объема (BSGS)
  • Газовые системы для различного полупроводникового оборудования
  • Заказные газовые панели для R&D

Конфигурация газобаллонных шкафов

  • Открытые, для настенного монтажа (инертные газы)
  • Газобаллонный шкаф для одного баллона, с внешним источником продувочного газа
  • Газобаллонный шкаф для двух баллонов:
    • 2 баллона с технологическим газом, с внешним источником продувочного газа и автоматическим переключением баллонов
    • 1 баллон с технологическим газом, 1 баллон с продувочным газом
  • Газобаллонный шкаф для трех баллонов:
    • 3 баллона с технологическим газом, с внешним источником продувочного газа и автоматическим переключением баллонов
    • 2 баллона с технологическим газом и автоматическим переключением, 1 баллон с продувочным газом

Особенности системы управления

  • Автоматическая система управления с сенсорным дисплеем
  • Автоматическая циклическая продувка
  • Контроль остаточного давления или веса баллона
  • Датчик давления для контроля выходного давления
  • Клапан контроля перерасхода
  • Настраиваемые значения остаточного давления или веса баллона для автоматического переключения
  • Внешние цифровые входы и выходы
  • Многоуровневая система доступа для обеспечения безопасности
  • Ethernet-интерфейс

Спецификация

  • Газовая панель собрана с использованием орбитальной сварки в чистой комнате класса 100/10
  • Трубки, фитинги, клапаны, регуляторы давления, фильтры, РРГ и прочие компоненты имеют сварные или VCR присоединения, с шероховатостью поверхности не более 10мкм
  • Тест по натеканию гелия и тест функциональности всех компонентов до сварки и сборки газовой панели
  • Тест по натеканию гелия после сварки и сборки газовой панели
  • Малый внутренний объем газовых панелей достигается за счет использования миниатюрных сварочных головок
  • Компактный генератор вакуума для циклических продувок

Опции

  • Специальные газовые панели по требованиям заказчика
  • Коллектор для продувки пигтейла (deep-purge)
  • Детектор опасных газов в вытяжной системе
  • Датчик давления в коаксиальном трубопроводе
  • Дополнительный фильтр частиц или очиститель процессного/продувочного газа
  • Аналитические услуги для определения уровня частиц, влаги, кислорода и углеводородов в газе.

Газовые системы для технологического оборудования

Производство OEM специально разработанных газовых систем для ионных имплантеров, установок сухого травления, эпитаксиальных реакторов, уникальных исследовательских аппаратов и проч. Эти системы могут включать в себя принципиально новое электронное управление разного класса для использования расширенной функциональности.

Обратитесь к нашему региональному представителю для дальнейшей информации

Показать центральные офисы