Установки LPCVD

для высокой эффективности процессов

Конструкция установок SVCS для осаждения из газовой фазы при пониженном давлении (LPCVD) сочетает возможность проведения различных процессов с обеспечением высокой производительности для серийного производства (SVсFUR-FP) и высокую гибкость компактных моделей для использования в исследовательских работах и опытном производстве (SVсFUR-RD). Результатом является безопасная, простая в обслуживании и надежная горизонтальная LPCVD платформа.

Конструкция установок SVCS обеспечивает высокую эффективность, малое занимаемое пространство и низкую эксплуатационную стоимость при высокой гибкости технологических процессов.

Читать польностю

Процессы LPCVD

  • Нитрид кремния
  • Низкотемпературный оксид (LTO)
  • Высокотемпературный оксид (HTO)
  • Оксид из TEOS
  • Поликремний, с плоским или наклонным температурным профилем
  • Легированный поликремний
  • Оксинитрид

Особенности и преимущества

  • Современная модульная специализированная система управления собственного производства
  • Использование высококачественных компонентов обеспечивает длительную и бесперебойную работу технологического оборудования
  • До четырех горизонтальных кварцевых реакторов для различных процессов
  • Различные методы контроля уровня вакуума, с нагревом или без нагрева:
    • Дисковый вентиль (TBV)
    • Балластный азот
    • Частотное управление вакуумным насосом
  • Интеграция вакуумной откачной системы в сотрудничестве с ведущими производителями вакуумных насосов
  • Продвинутая система водяного охлаждения для минимизации теплового воздействия между соседними реакторами
  • Фланцы с водяным охлаждением собственной разработки
  • Полностью автоматическая бесконтактная система загрузки консольного типа
  • Удобная в обслуживании конструкция

Техническая информация

 Размер пластин 150 мм, 200 мм или другие по запросу
 Размер партии FP: 100+
RD: 25 (стандартно)
 Система нагрева 3 или 5 зон
 Рабочая зона FP: до 1067 мм (42″)
RD: от 300 мм (12″)
Равномерность нагрева: ± 0.5°C по зоне
 Рабочая температура от 200°C до 1200°C
 Потребляемая мощность 80 кВт – 150 кВт в зависимости от конфигурации
 Источник питания 150 мм: 3 фазы, 400 или 480 VAC, 140 A, 50 или 60 Гц
200 мм: 3 фазы, 400 или 480VAC, 160A, 60 Гц
(система адаптирована к сети питания заказчика)
 Сухой сжатый воздух 70 – 110 psig (от 4,8 до 7,6 бар)
 Оборотная вода 40 — 60 л/мин
 Вытяжная вентиляция 210 м³/ч на канал
 Опции Подъемник лодочек и автоматический переукладчик пластин

 

Обратитесь к нашему региональному представителю для дальнейшей информации

Показать центральные офисы