Продукты

Системы подачи жидких реагентов доступны в различных конфигурациях, обычно, в виде одно- или двухпозиционного шкафа, рассчитанного на любой проприетарный контейнер, поставляемый производителями химикатов.

Система обеспечивает подачу жидкости за счет ее выталкивания газом, который подается в пространство над жидкостью. В зависимости от применения, может потребоваться дегазификатор (опция) для удаления растворенного газа из жидкости. Буферные емкости и распределительные шкафы для жидкостей могут быть применены, если того требует производственный процесс.

Существуют различные способы превращения жидкости в пар, который можно использовать в установках. SVCS применяет три главных способа в производстве своих диффузионных и CVD печей.

Барботер основан на захвате паров реагента газом-носителем, проходящим через жидкость. Поток газа-носителя контролируется регулятором расхода и поступает в контейнер через трубку, погруженную в жидкость, а затем насыщенный парами газ выходит из контейнера. Для сохранения постоянной концентрации паров реагента в газе-носителе необходимо точно поддерживать температуру контейнера на заданном уровне.

Для этой цели был создано устройство с комбинированной возможностью нагрева и охлаждения.

Испарительная система (CEM) смешивает жидкость и газ-носитель для получения испаряемого аэрозоля. Потоки при этом точно контролируются регуляторами расхода.

Затем аэрозоля испаряется при повышенной температуре. Различные смеси могут быть испарены, в том числе твердые вещества в растворителях.

Система прямой доставки паров использует перепад давления насыщенного пара, который контролируется настройкой температуры и давления процесса. Специализированные регуляторы расхода пара, работающие при абсолютном давлении, применяются для управления потоком пара.

Контейнеры в технологическом оборудовании либо заменяются, либо заново заполняются. Испарительная система требует постоянной подачи жидкости под давлением для обеспечения точной регулировки расхода.