Настольная диффузионная печь SVCS создана для применения в научно-исследовательских лабораториях и опытном производстве, сохраняя при этом характерный для полупроводниковой промышленности уровень качества. Система может быть использована для целого ряда различных процессов, благодаря широкой универсальности и количеству доступных опций.
| Размер пластин | 2″ — 6″ (50 мм — 150 мм) |
| Размер загрузки | до 25 пластин в загрузке |
| Нагреватель | 1 или 3 зоны, провод из материала Kanthal® APM/A1 |
| Рабочая зона | 12″ (300 мм) |
| Температура процесса | 200 oC — 1300 oC, ± 0.5 oC по длине зоны |
| Энергопотребление | 20 кВА |
| Источник питания | Трехфазный, 400 или 480VAC, 50 A, 50 или 60 Гц (система всегда адаптируется к сети питания заказчика) |
| Сжатый воздух | 70 – 110 psig (от 4,8 до 7,6 бар) |
| Охлаждающая вода | 40 — 60 л/мин |
| Вытяжная вентиляция | 210 м³/ч |
| Опции | модуль CEM, система EBS, инженерное оборудование |
Примерные размеры
Poland
Poland
«PVG Spółka z Ograniczoną Odpowiedzialnością» Sp.K.
ul. Santocka 39, 71-083 Szczecin
Tel. +48 539 944 449
Fax +48 918 310 988
Email:
Hong Kong
Hong Kong
Great Domain
Enterprise Co., Ltd.
15-1F, No.37, Sec. 2, Sanmin Rd.,
Banqiao Dist., New Taipei City, Taiwan
Tel.: 0912-730-586
Fax: 0289538399
Email:
Vietnam
Vietnam
AMST., CO. Ltd.
Mr. Le Quoc Trong
48A, Alley 21 Phan Dinh Giot Str.
Thanh Xuan Dist., Hanoi
Vietnam
Tel/Fax +84 4 62852094
Mob: +84 947180189
Australia
Australia
UHP Australia Ply Ltd.
Unit 4, 20 Velediclion Road, Kings
Park NSW 2148, AUSTRALIA
Tel.: +61 (0)2 9676 6769
Mob.: +61 (0) 3904 3893
Email:
Japan
Japan
VYTEK Ltd.
Mr. Vladimir Kovacik
Wisteria Komae bldg.3F
1-2-8 Izumi Honcho, Komae, Tokyo, 201-0003 Japan
Tel.:+81-3-3480-9082
Fax:+81-3-3480-9083
Email:
http://www.vytek.co.jp/
Korea
Korea
Sang-Hoon, Lee (Mr. Edward Lee)
Managing Director of SH Korea
#310-213, Ansan Distribution Complex
994-6, Wongok-dong, Danwon-gu,
Ansan-si, Gyeonggi-do, Korea.
zip code 15431
Fax: +82.31.8084.4744
web-site: www.shkorea.kr
Mobile: 82-10-4307-8412
Email:
Taiwan
Taiwan
Sung Yuan Biotechnology Co., Ltd.
Mr. Thomas Liu
Sales Director
No.818, Wen-San Road, Up-Mountain village
Chung-Lin Hsiang, Hsin-Chu County 307,
Taiwan R.O.C
Tel: +886-3-5122.096 ext 101
Fax: +886-3-5925.308
Mobile: +886-938-365.326
Email:
Email:
China
China
PELAS
Mr. Tony Wang
Shanghai PelaStar Materials Technology Co., Ltd
Room. 1102, Suncome Liauw’s Plaza, No. 738, Shangcheng Rd.Shanghai, 200120, China
Tel.: 86-21-51981110
Fax.: 86-21-51981109
Mobile: 13816658585
Email:
Malaysia
Malaysia
SERMAX Engineering Pte Ltd (201025665Z)
11 Mandai Estate, #08-01 Eldix, Singapore 729908
Phone : +65-6710 7710
Fax : +65-6710 7710
Email:
India
India
Russia
Russia
ООО «СВЦС»
Игорь Владимирович Березенко
Директор
124527 Москва, Зеленоград,
Солнечная аллея, д.6, офис 223
Россия
Тел.: +7 495 790 63 31
Email:
https://www.svcs.com
Turkey
Turkey
TESTONE TEKNOLOJI COZUMLERI SAN. VE TIC LTD. STI.
Gürsel Mah. İkbal Sok TestOne Binası No :7
Kağıthane-İstanbul
Tel: 0212 251 24 25
Fax: 0212 222 90 90
Email:
USA
USA
SVCS CO.
1819 Main Street
Sarasota • Florida 34236 • USA
www.svcs.com
Email:
